에드워드 ixl 고성능 건식 진공 펌프

iXL120: 소형 저전력 110m3/h 건식 펌프로 웨이퍼 처리 및 기타 세척 작업에 적합합니다. 이 펌프는 에너지 소비량이 엄청나게 낮으며 로드록 챔버를 빠르게 펌프다운할 수 있습니다. 로드록 및 세척 분야에서 시판되는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적으며 소음 수준이 낮으므로 도구나 fab의 와플 바닥 내에 장착하여 fab 바닥 공간을 절약할 수 있습니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량이 감소하여 유틸리티 비용이 절감되며 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다.

• 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 TACT(총 평균 주기 시간) 단축
• 전력 소비가 0.55kW밖에 안 되어 고객 소유 비용 최소화에 도움
• 그린 모드를 사용하여 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92% 절감할 수 있음
• 최대 35^oC 용수 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄일 수 있음
• 매우 작고 가벼워 귀중한 랙 공간을 절약할 수 있음

iXL1000: 저부하 응용 분야를 위한 저전력 소형 건식 펌프입니다. 챔버 펌프다운이 빠르고 전력 사용량이 엄청나게 낮습니다. 시판되는 가장 작고 빠른 펌프 중 하나로, 웨이퍼 처리, PVD 및 측정과 같은 저부하 응용 분야에 적합합니다. 크게 성공한 iXL120 펌프를 기반으로 설계된 이 펌프는 빠른 펌핑 속도와 낮은 에너지 소비를 자랑합니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간에 유틸리티 사용을 줄여 비용을 낮추고 환경을 보호할 수 있습니다..

• 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 TACT(총 평균 주기 시간) 단축
• 전력 소비가 0.55kW밖에 안 되어 고객 소유 비용 최소화에 도움
• 그린 모드를 사용하여 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92% 절감할 수 있음
• 최대 35oC 냉각수 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄일 수 있음
• 매우 작고 가벼워 귀중한 랙 공간을 절약할 수 있음

IPUP2: 소형 저전력 180m³/h 건식 펌프로 웨이퍼 처리 및 기타 세척 작업에 적합합니다. 이 펌프는 에너지 소비량이 낮으며 로드록 챔버를 빠르게 펌프다운할 수 있습니다.

IPUP2는 작고 가펴워 로드록 및 세척 응용 분야에 적합합니다. 진동이 적도 소음 수준이 낮아 온풀 사용이나 fab의 와플 바닥 내에 장착하는 데 적합하므로 귀중한 fab 바닥 공간을 절약하고 펌핑 성능을 극대화하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하여 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호할 수 있습니다.

Applied Materials의 공정 플랫폼에서 사용할 경우 처리량이 늘고 에너지 사용이 줍니다.

• 3조 주기 MTBF
• 원래 IPUP™보다 50% 더 빠르고 70% 더 적은 에너지 사용
• 기존 IPUP™에 대한 드롭인 대체품