Système de pompes sèches iXH

La famille des pompes sèches iXH fait évoluer la gamme de produits leaders du marché iH d'Edwards et constitue la nouvelle référence pour les procédés difficiles. Elle offre de faibles coûts de possession grâce à la fiabilité des procédés dans un grand nombre d'usines de fabrication de semi-conducteurs de 300 mm et d'écrans plats dans le monde.

Cette gamme idéale de pompes sèches et de pompes Roots de grande capacité parvient à répondre aux besoins grandissants en matière de débit de gaz des industries de fabrication des écrans plats (FDP), des cellules photovoltaïques, des semi-conducteurs et des DEL. En plus d'offrir une vitesse de pompage de pointe élevée, ces pompes sont équipées de fonctionnalités qui garantissent une fiabilité maximale pour les procédés difficiles. 

Grâce à leur conception modulaire, les pompes iXH répondent aux exigences de procédé actuelles, mais elles sont aussi pensées pour relever les défis à venir des industries de fabrication à la pointe de la technologie.